一种用于微机械系统电容检测的模拟前端设计

摘要：

针对基于位移电容转换方式的微机械系统中微小电容检测需要,设计了一种具有结构简单、工作频率低、对分布电容不敏感等优点的模拟前端放大器.重点分析了该前端放大器电容检测原理,推导了电容检测分辨率的公式,讨论了电路整体结构设计、参数选择和提高抗共模干扰能力等主要问题.试验结果表明:该模拟前端放大器输出信号电压幅值与微机械结构位移之间有很好的线性关系,电容检测分辨率优于2.5x10-18F/√Hz,并且能够有效地减弱共模干扰,满足微小电容检测要求.

关键词： 微机械系统 微小电容检测 模拟前端放大器 分辨率

作者: 李昊 陈志勇 董永贵

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 578-581

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）