硅电容传感器产业化中的几个关键问题

摘要：

针对硅电容传感器的特点,稳定性好，指标先进，适合批量生产，成本低，配套性好，完全自主知识产权、民族品牌。就硅电容传感器产业化过程中的几个关键问题:静压误差、响应时间、稳定性、产业化条件提供了解决方案和工艺措施,获得显著效果.

关键词： 硅电容传感器 静压误差 响应时间 稳定性 产业化条件

作者: 徐开先 李颖 刘沁 张治国 匡石 殷波

作者单位: 沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳 110043

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 617-619

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）