微机械陀螺芯片批生产质量管理模型构建与实践
本文介绍了硅微机械陀螺芯片批生产质量管理模型的构建,并对质量管理中出现的一些问题利用PDCA进行处理.针对冲击输出脉冲偏大的情况,提出了一步对准的制作方法,将冲击输出脉冲控制在规范内;针对芯片表面质量差的情况,提出了四步法代替五步法,并进行了效果验证.连续几个批次的生产表明建立的硅微机械陀螺芯片批生产质量管理模型是有效的,有助于提高质量管理水平,将原来的单一化管理不断向立体化管理推进.通过构建的微机械陀螺芯片批生产质量管理模型，将陀螺芯片的成品率从2％提高到19%。“一步对准”方案有效地减小了由于光刻对准产生陀螺芯片偏心现象，提高了陀螺的抗冲击性能。“四步法”有效地提高了陀螺芯片表面的质量，缩短了陀螺芯片加工时间。
硅微机械陀螺 芯片 批生产质量管理 抗冲击性能 表面质量
籍刚 岳萍 邹越 牛红磊 刘宇 张伟
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2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）