MEMS无源无线湿度传感器研究
对于人体内部、密封的药品等密封环境或机械旋转以及恶劣环境,需要无线传感器.本文设计的MEMS无源无线湿度传感器是利用感湿介质(聚酰亚胺)介电常数变化,引起LC谐振电路频率发生变化,反映环境湿度的变化.为了与读出电路频率范围相匹配,LC谐振器频率工作范围50MHz-200MHz.为了获得高湿度灵敏度,选择电容大约为10pF.为了获得高品质因素的电感,同时与工艺兼容,矩形平面螺旋电感的线宽W、间距S、厚度H分别为160μm、40μm和2μm.电感的外径D是10000μm,电感的圈数选择为4.5圈.本文设计的电感具有低电阻值14Ω,高品质因素4.2.文中还给出制作MEMS无源无线传感器湿度传感器所采用的加工工艺过程,为了降低衬底损耗和减少寄生电容,采用玻璃衬底.
无源无线湿度传感器 电感设计 制作工艺 灵敏度
张凌云 于虹 黄见秋
东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏南京,201196
国内会议
昆山
中文
745-750
2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）