基于反射型延迟线结构的声表面波无线无源温度传感器研究

摘要：

本文提出了一种集成电子标签的声表面波(SAW)无线无源温度传感器的优化设计.传感元为基于YZ LiNbO3石英基片并由一个换能器与8个反射器构成的反射型延迟线,其中3个反射器用于温度检测,另外5个反射器则用于采用相位编码的电子标签.单相单向换能器结构以及短路栅结构用于器件换能器及反射器设计以获得良好的信噪比性能.基于耦合模(COM)理论对器件性能进行了仿真与优化.利用网络分析仪对所研制的434MHz反射型延迟线响应进行了测试,测试结果表现出良好的信噪比系数,较低的器件损耗以及良好的器件时域反射峰,并与仿真结果较为吻合.基于网络分析仪以及无线天线对所研制的无源无线声表面波温度传感器性能进行了初步评价,表现出较好的线性特性.

关键词： 无线无源温度传感器 声表面波 反射型延迟线 信噪比性能

作者: 王文 薛蓄峰 邵秀婷 王建明 粱勇

作者单位: 中国科学院声学研究所 北京100190 中国科学院声学研究所 北京100190;北京师范大学信息科学与技术学院电子学系 北京100875 北京师范大学信息科学与技术学院电子学系 北京100875

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 昆山

会议语种:中文

页码: 775-778

在线出版日期: 2012-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）