面向集成电路装备的多学科协同设计平台
针对集成电路装备研发过程中数据管理、应用集成与知识管理等问题,提出了面向集成电路装备的多学科协同设计平台的体系结构.通过构建融合数据空间的工程数据管理框架以支持多学科协同设计中丰富的数据类型与数据模式,并能够满足数据模式的动态化增量式需求.构建了以企业服务总线为核心的统一集成环境.在知识分类的基础上,提出了基于设计任务的知识推送方法.最后介绍了自主开发的集成电路装备多学科协同设计平台,并结合刻蚀设备中喷淋头的设计,验证了平台的有效性.
集成电路装备 多学科协同设计平台 工作流程 数据空间
武园浩 田凌
清华大学 精密仪器与机械学系,北京 100084
国内会议
武汉
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2012-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）