半导体生产调度研究进展

摘要：

半导体生产调度问题是对半导体生产线中的工件、机器和资源进行时间空间上的合理分配,以使得整个生产线上的性能指标最优的问题,具有重要的学术意义和应用价值.它具有高度的复杂性,因此很难用传统方法进行求解.本文从半导体生产调度问题的特点、生产过程的建模、投料控制、工件调度等方面对现有的理论和方法进行了总结,综述当前半导体生产调度问题的研究进展,并指出了半导体生产调度问题若干有待研究的方向和内容.

关键词： 半导体产业 生产调度 作业流程

作者: 许烨 王凌 王圣尧

作者单位: 清华信息科学与技术国家重点实验室,北京 100084;清华大学 自动化系,北京 100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年第二届全国现代制造集成技术学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 1-14

在线出版日期: 2012-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）