半导体制造执行系统研究

摘要：

结合目前半导体生产的发展以及半导体行业自身特点,简单介绍半导体行业实施执行制造系统(MES)的意义和作用,总结了现有的半导体制造业MES软件的特点,提出了一种半导体MES的原型模型,并对该模型的每个模块进行分析与阐述。

关键词： 半导体企业 制造执行系统 原型模型 功能模块

作者: 陈琦 陆剑峰

作者单位: 同济大学CIMS 研究中心,上海 201804

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年第二届全国现代制造集成技术学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2012-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）