基于帝国主义竞争算法的半导体生产线光刻区调度
半导体生产线是目前世界上公认的最复杂的制造系统之一,光刻区是半导体生产线中的瓶颈区域和调度中心.基于帝国主义竞争算法(ICA)的调度是将ICA算法与调度规则相结合,通过合理的编码来寻找一组光刻区设备调度规则,用于解决半导体生产线的调度问题.和单一的调度规则不同,这种方法充分考虑了不同工作站的加工特点,进而选择合适的调度规则.使用具有半导体生产线本质特征的简化模型,将ICA算法与单一调度规则进行了比较,结果表明,这种方法对于产品平均加工周期生产指标有明显改善.
半导体制造 生产线 光刻区 生产调度 帝国主义竞争算法
张洁 张朋
上海交通大学 计算机集成制造研究所,上海 200240
国内会议
武汉
中文
1-7
2012-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）