缓冲层对BST薄膜结构及性能的影响

摘要：

缓冲层对BST(Ba0.6Sr0.4TiO3)薄膜的生长及介电性能有重要的影响.缓冲层的加入,不但影响基板与BST之间的结构,而且使BST的综合性能得到了一定程度的改善.本文综述了常见的缓冲层材料对BST薄膜结构对生长模式、表面形貌、生长取向、应力对生长的影响，及对介电常数和介电损耗、漏电流密度、调谐率和优值因子、缓冲层厚度等介电性能的影响.

关键词： 钛酸锶钡薄膜 缓冲层 组织结构 介电性能

作者: 张宝 廖家轩 王滨 徐从玉

作者单位: 电子科技大学电子科学技术研究院 成都611731

会议类型: 国内会议

会议名称: 综合电子系统技术教育部重点实验室暨四川省高密度集成器件工程技术研究中心2012学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 450-458

在线出版日期: 2012-12-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）