真空系统电控多位阀外泄漏解决方案

摘要：

本文通过分析”VICI Valco”电控多位阀阀体结构及工作原理,并对阀体结构进行密封改造,解决了电控四位、六位阀本身存在的外泄漏,并经过试验和检测,最终满足系统的泄漏率要求.

关键词： 真空系统 电控多位阀 氦质谱检漏 密封改造

作者: 李建刚 罗正华 崔元萍

作者单位: 中国工程物理研究院核物理与化学研究所,成都,610003

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012年无损检测技术交流会

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 184-186

在线出版日期: 2012-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）