利用小波变换从单帧干涉图提取微透镜阵列的三维结构信息

摘要：

微透镜阵列的形状和特征尺寸决定了其光学特性,对微光学透镜的三维结构特征尺寸进行精确快速的测量至关重要.从具有放大系统的Mach-Zehnder干涉仪获得的微透镜阵列的单帧干涉图,利用小波变换提取了微透镜阵列的三维形状和特征尺寸,测量结果与原子力显微镜测量结果非常吻合.该方法具有大测量范围、无损伤和快速的优点。

关键词： 微透镜阵列 三维形状 特征尺寸 单帧干涉图 小波变换

作者: 匡登峰 饶卫平 陈庆接 陈绍龙 徐明 张宗华

作者单位: 南开大学现代光学研究所,教育部光学信息技术重点实验室 天津300071;南开大学信息技术科学学院 天津300071 南开大学信息技术科学学院 天津300071 河北工业大学机械工程学院 天津300401

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十六届全国图象图形学学术会议 暨第六届立体图象技术学术研讨会

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 81-84

在线出版日期: 2012-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）