掺杂浓度对钾镁交替掺杂BST薄膜介电性能的影响
(0) 用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备掺杂浓度(1～15) mol％的钾和镁交替掺杂钛酸锶钡(BST)薄膜,研究掺杂浓度对薄膜结构和介电性能的影响.X射线衍射(XRD)表明,薄膜为钙钛矿结构.扫描电镜(SEM)显示,薄膜致密、晶粒大小均匀、低浓度下薄膜表面更平整光滑.随着浓度的增加,晶化逐渐减弱,平均晶粒大小和介电损耗呈减小趋势.交替掺杂结合了钾掺杂高调谐率和镁掺杂低介电损耗的优点,明显提高了优质因子.5 mol％对应最佳综合介电性能,在-20～20V范围内,介电损耗小于1.63％,调谐率为40.9％.
钛酸锶钡薄膜 溶胶-凝胶法 钾掺杂 镁掺杂 介电性能
杨函于 廖家轩 王思哲 魏雄邦 吴孟强
电子科技大学,四川成都610054
国内会议
广东清远
中文
28-31
2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）