RB-SiC材料表面改性技术研究
近年来，随着制备工艺及技术的发展，SiC陶瓷材料逐渐成为制备卫星反射镜的首选材料。采用反应烧结制备的碳化硅制品通常含有10％～20％的Si,由于Si与SiC两种材料的物理性能存在差异,在镜面的抛光过程中两种材料的去除速率不一致,导致制品出现缺陷,其表面粗糙度通常无法满足空间遥感用反射镜的光学应用要求,为此本研究采用化学气相沉积(CVD)及物理气相沉积(PVD)对镜面进行改性,通过SEM分析了2种改性涂层与基体的结合性能,采用分光光度计分析两种改性材料的反射效果,实验表明采用无缺陷的CVDSiC和PVDSi涂层都适宜做Si-SiC反射镜改性涂层,在此基础上对不同温度及不同位置下制备的碳化硅涂层进行分析,对CVD过程的化学动力及气体流场对膜层的影响进行初步分析讨论,为CVD工艺制备大尺寸SiC涂层提供依据.
卫星反射镜 表面处理 反应烧结碳化硅陶瓷 涂层制备 气相沉积
霍艳丽 刘海林 胡传奇 黄小婷 贾志辉 梁海龙 王春朋 唐婕 陈玉峰
中国建筑材料科学研究总院,北京100024
国内会议
广东清远
中文
778-781
2014-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）