分馏塔用导热油加热及其自动控制

摘要：

该文介绍了利用多晶硅还原生产中产生的高温导热油对分镏塔加热，将热能充分利用，可节约能源，保证产品质量，降低生产成本。

关键词： 分馏塔 导热油 加热 自动控制 多晶硅

作者: 半导体材料研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 90～91

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）