结构光照明并行层析显微技术研究
利用衍射光学理论阐述了结构光照明并行层析显微成像基本原理,计算分析了轴向层析响应曲线并对层析分辨率进行评价,指出在最佳系统参数设计条件下,结构光照明显微系统轴向层析分辨能力要高于理想点照明、点探测共焦显微镜.利用压印法加工了朗奇光栅作为投影调制光栅,在无限远科勒照明光学系统中引入光栅移相机构,搭建了结构光照明显微层析成像系统,对光电二极管芯片以及生物体复眼组织进行了层析成像检测,本研究可进一步应用实现微结构三维层析测量和高分辨率成像等.
结构光照明 并行层析显微成像 分辨能力 衍射光学理论
刘涛 王通 杨树明 赵楠 杨晓凯 张国锋 刘强 蒋庄德
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,陕西西安 710049
国内会议
西安
中文
1-6
2016-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)