运用电子背散射衍射技术研究高纯金溅射靶材的微观组织与织构

摘要：

运用电子背散射衍射(EBSD)技术,对通过优化真空熔炼工艺制备的高纯金溅射靶材不同区域的微观组织、晶界取向差和织构组分进行了研究.结果表明:高纯金靶材组织由细小的等轴晶组成,平均晶粒尺寸为206nm,样品在轧制过程中发生了再结晶,样品所测得的织构(110)平行于轧面,轧向不确定,为较弱的织构.EBSD技术相较其他分析技术,具有快速高效的定量统计材料的微观组织结构、织构、晶粒尺寸、取向差的特征,是高纯金靶材微观组织的一种有效分析手段.

关键词： 高纯金溅射靶材 真空熔炼 微观组织 晶界取向差 织构组分 电子背散射衍射

作者: 朱勇 阳岸恒 张济祥 谢宏潮 卢绍平

作者单位: 贵研铂业股份有限公司,昆明 650106

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届中国科协年会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2016-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）