无阀微泵压电特性分析及性能测试
提出了一种用于微量试剂分析的压电驱动微泵模型.该微泵模型采用压电阵子驱动、硅基泵体以及聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)封装而成.对压电阵子振动模态进行有限元分析,得出1～4阶模态及驱动频率,使微泵容积效率为最大的应为1阶模态.通过对微泵压电-应力耦合场进行数值分析,得出微泵最佳驱动频率范围应小于1kHz.最后,采用微系统加工方法制作出微泵模型,并对其性能进行测试.结果表明:电压为100 V(p-p)的正弦波驱动下,频率为60和200 Hz时,微泵流量最大达到34.5 μL/min,而当频率在60～600 Hz时微泵压力最大达到657 Pa,与数值分析结果相吻合.
无阀微泵 压电特性 应力场 驱动频率
关炎芳 耿铁 韩莉莉 刘春波 凌行
河南工业大学机电工程学院,郑州450007 上海交通大学微纳科学技术研究院,上海200240
国内会议
贵阳
中文
1049-1054
2016-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）