多晶硅氢化炉流场均匀性数值模拟研究

摘要：

针对多晶硅生产核心设备氢化炉的结构改进和过程强化,本文采用数值方法,对三维空间进行多面体网格划分,模拟计算了氢化炉内部流场分布,获得了截面流线图和速度等值线图;分析表明,现行底部进/出气结构氢化炉速度场均匀性较差,上部存在流动死区,而顶部进气结构有助于消除流动死区,速度场均匀性相对提高,有利于强化多晶硅氢化炉反应过程.

关键词： 多晶硅生产 氢化炉 结构优化 流场模拟

作者: 陈鹏 段启勇 谢俊 池凤琼 黄卫星

作者单位: 四川大学化学工程学院,四川成都,610065 四川科新机电股份有限公司,四川德阳,618400

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国高等学校过程装备与控制工程专业教学与科研校际交流会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 337-339

在线出版日期: 2011-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）