电化学机械光整加工表面形貌特性分析
建立了电化学机械光整加工(ECMF)实验装置,以原始磨削表面粗糙度Ra值为0.23 μm的GCr15为研究对象,借助STM6显微镜和Talysurf SLI2000观测了磨削表面与ECMF表面形貌参数.根据实验结果,借助自相关函数(ACF)及功率谱密度函数(PSD)分析了磨削表面及ECMF表面的形貌特性.结果表明:光整加工前后表面轮廓中都含有周期性成分,磨削加工只能在较大的范围内形成周期性轮廓,而ECMF可在小范围内形成周期性轮廓,使表面平均间距大幅减小,降低了原始磨削表面中的低频波动.ECMF可将原始表面粗糙度值由0.23μm降低到0.023μm左右,表面质量、支撑长度和耐磨性明显提高.
电化学机械光整加工 形貌特性 表面质量 周期性轮廓
魏泽飞 徐文骥 庞桂兵
大连理工大学机械工程学院,辽宁大连116024 大连工业大学机械工程与自动化学院,辽宁大连116034
国内会议
苏州
中文
583-588
2011-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）