塑料基板上激光诱导选择性化学镀铜

摘要：

利用激光与化学镀相结合,摒弃传统化学镀铜中环境污染、价格昂贵的活化工艺,成功实现了无需掩膜技术即可在塑料基板表面进行图形化金属沉积.采用SEM、EDX等分析技术进行微观形貌观察和元素含量测定,并检测分析了金属镀层附着力。结果显示:镀层与塑料基板附着力受激光功率影响很大,当功率足够大时,结合力良好.用数字式四探针测试仪测量镀层方阻为3 mΩ/□,导电性良好.

关键词： 塑料基板 激光诱导 选择性化学镀铜 微观形貌 元素含量

作者: 彭啸 江开勇

作者单位: 华侨大学机电及自动化学院,福建厦门361021

会议类型: 国内会议

会议名称: 第14届全国特种加工学术会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 594-596

在线出版日期: 2011-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）