西门子SIMATIC T-CPU在硅片放板机中的应用
本文描述了西门子SIMATIC T-CPU为控制核心,通过IM174接口模块以DP(DRIVE)将T-CPU与伺服驱动系统和变频系统连接起来,人机界面(HMI)使用TP277,通过MPI通信方式与SIMATIC T-CPU连接,组成一个集运动控制、逻辑控制、监控等功能于一体的硅片放板电气控制系统,完成了硅片放板的全自动放板功能.
硅片放板机 电气控制系统 软件设计 功能模块
刘列
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2011-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)