PCS7系统在景德镇3000t/n多晶硅生产线一期项目的应用

摘要：

本文通过西门子公司PCS7过程控制系统在江西景德镇3000t/n多晶硅生产线项目的应用,讲述了西门子公司改良法多晶硅生产工艺,PCS7系统满足生产工艺控制要求,并对DCS与还原高压调控柜通信采用PROFIBUS-DP方式提供解决方案,对主体GEC还原炉的主生产及尾气回收CDI顺控分别作阐述,对多晶硅硅棒曲线、恒温控制提出解决方案,从项目控制角度实现了全方位的DCS解决方案。

关键词： 半导体材料 多晶硅 生产装置 过程控制系统

作者: 高路海

作者单位: 上海西门子工业自动化有限公司 上海

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011西门子自动化专家会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 760-770

在线出版日期: 2011-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）