铜铟硒(CIS)薄膜太阳能电池吸收层的硒化工艺优化研究

摘要：

采用溅射后硒化法制备铜铟硒薄膜太阳能电池的吸收层CISe薄膜,用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征了CISe薄膜的成分和表面形貌.研究了硒化温度由350℃升高到500℃以及在450℃硒化时间从20min到40min的不同样品的物相组成和形貌结构,结果表明随着硒化温度升高,可以得到更好的薄膜成分和晶相形貌的CISe薄膜,当样品在500℃硒化30min或450℃硒化40min时可得到物相结构和微观形貌较好的CISe薄膜.

关键词： 薄膜太阳能电池 铜铟硒薄膜 吸收层 硒化工艺 物相结构 微观形貌

作者: 王波 刘平 李伟 刘新宽 马凤仓 陈小红

作者单位: 上海理工大学,机械工程学院,上海,中国,200093 上海理工大学,材料科学与工程学院,上海,中国,200093

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011中国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1104-1108

在线出版日期: 2011-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）