等离子体波导结构连续性对光损耗特性影响研究

摘要：

长周期表面等离子体波导(LRSPP)调制器/开关中,金属需同时传输光信号和电信号.为确定金属薄膜中不连续性结构对LRSPP波导光损耗的影响,本文采用硅作为衬底,聚合物作为包层,通过紫外光刻和湿法腐蚀工艺制备了具有不同间隙宽度和长度的对称型LRSPP波导.通过单模光纤激发等离子波,在1550nm波长下对波导光插入损耗的测试结果表明,当LRSPP波导间隙宽度小于10μm时,波导结构的不连续性对3μm宽LRSPP波导光插入损耗无明显影响.上述结果对有源LRSPP波导的设计与制备具有一定的参考价值.

关键词： 等离子体波导 不连续性结构 光损耗特性 金属薄膜

作者: 刘通 谢莹 赵旭亮 孙小强 张大明

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林省光通信用聚合物波导器件工程实验室,吉林大学电子科学与工程学院,长春130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国塑料光纤聚合物光子学会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 40-45

在线出版日期: 2014-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）