影响φ60mm探测器成品率因素分析及改进措施
PIN系列半导体辐射探测器是我院有关试验中用于核辐射探测的重要产品,规格型号为φ60mm的PIN探测器是其中的一种,由于灵敏面积较大,在研制生产过程中,硅片腐蚀厚度控制、离子注入均匀性控制难度大,受污染概率增加,导致静态参数变差,如漏电流增加、耐压减小等,同时产品工序间进行有效的监测非常困难,从而产品的成品率低下.通过分析半导体辐射探测器的工艺生产流程,找到影响产品成品率的关键因数,通过对关键因数的质量控制和改进,达到提高产品成品率和生产效率,减少成本的目的.
半导体辐射探测器 生产工艺 成品率 质量控制
谭刚 罗剑波
中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳621900
国内会议
四川省电子学会曙光分会第十七届学术年会暨中物院第十届电子技术青年学术交流会
长沙
中文
112-116
2014-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）