碳纳米管阴极材料测试的排气工艺探究
阴极作为器件工作的电子发射源,是真空电子器件的心脏.自首次报道碳纳米管电子场发射实验研究以来,碳纳米管被认为是最具应用潜力的电子场发射阴极.但如何获得具有较大电流、发射稳定的碳纳米管场发射阴极,仍有很多问题.其中,如何有效维持碳纳米管场发射环境的高真空度尤为关键.本文提出了有效维持碳纳米管阴极材料场发射测试环境真空度的解决方法,为更好的研究碳纳米管的场发射性能提供了技术支撑.通过测试过程及结果的评价,效果良好.同时对本次试验在以后的科研生产中的意义进行了小结.
电子器件 碳纳米管 阴极材料 场发射性能
马迎英 万瑞芸 严飞 陶青
中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳621900
国内会议
四川省电子学会曙光分会第十七届学术年会暨中物院第十届电子技术青年学术交流会
长沙
中文
205-212
2014-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）