潘宁源等离子体的Langmuir单探针诊断研究

摘要：

使用Langmuir单探针诊断技术,测量了小型潘宁离子源在氢气气氛下不同放电电流、不同轴向位置的Ⅰ-Ⅴ曲线.通过受限轨道运动理论,获得了等离子体电子温度、电子密度.并研究了等离子体电子温度和电子密度随放电电流、轴向位置的变化情况,对了解宏观参数与等离子体可变量之间的关系具有一定的指导意义.

关键词： 等离子体 单探针诊断 电子温度 电子密度

作者: 严飞 金大志 陈磊 万翔 向伟

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会曙光分会第十七届学术年会暨中物院第十届电子技术青年学术交流会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 266-269

在线出版日期: 2014-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）