用于环形照明光刻的滤波技术研究

摘要：

针对环形照明引起的光刻图形对比度低的缺点，研究光瞳滤波原理，设计并制作出滤波器。结果表明，在环形照明下采用滤波方法，能进一步提高光刻分辨力和焦深，提高光刻图形的质量。

关键词： 分辨力 滤波 环形照明光刻

作者: 罗先刚 姚汉民 陈旭南 冯伯儒

作者单位: 院光电所微细加工光学技术国家实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 309～311

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）