用于光刻滤波器的设计研究

摘要：

针对衍射限成像光刻系统成像特性，提出用共轭滤波的方法，通过滤波使低频部分减小,提高光刻分辨力。结果表明，光瞳滤波能进一步提高光刻分辨力和焦深。

关键词： 分辨力 光瞳滤波

作者: 陈旭南 罗先刚 姚汉民

作者单位: 科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都) 科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 297～299

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）