极紫外光源锡液滴靶的检测研究

摘要：

采用正交放置的两路CCD,基于图像采集及处理的方法,建立了极紫外光源锡液滴靶发生装置的锡液滴检测系统,可以实时监测锡液滴的运动状态及稳定性.对本实验室频率为34kHz的锡靶发生器产生的液滴进行了锡液滴监测实验.监测结果显示,锡液滴直径约为137μm,平均间距为375μm,稳定性较好,并对水平面上横向稳定性进行了分析,为激光轰击锡液滴靶产生极紫外辐射的研究打下基础.

关键词： 极紫外光源 锡液滴 检测系统 运动状态 稳定性

作者: 陈子琪 王新兵 左都罗 陆培祥 吴涛

作者单位: 武汉光电国家实验室,武汉430074 武汉工程大学理学院,武汉430205

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二十一届全国激光学术会议

会议地点: 城市

会议语种:中文

页码: 1-6

在线出版日期: 2014-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）