基于单面金属包覆波导的超薄膜厚度检测
(0) 自薄膜技术问世以来，制备技术的提升和交叉学科的发展不断推动着薄膜材料的应用，使得薄膜材料成为材料研究的热门课题。薄膜技术在太阳能电池、数据存储、导热/散热膜、热静电塑料等方面都发挥着重要作用。在薄膜众多的技术参数中，薄膜厚度是极为重要的一项，确定薄膜厚度具有重要的意义。 基于单面金属包覆波导,提出了一种超薄膜厚度检测方法,以棱镜实现耦合.软件仿真表明,在入射光波长为650nm,银膜厚度为50nm的条件下,随着作为导波层的薄膜厚度由0nm增加到4nm.共振角度数由36.22°增加到了36.53°,共振角度数随薄膜厚度的增加表现出递增规律,薄膜厚度检测限达到1nm.当导波层较厚时,单面金属包覆波导会激发出多种模式,通过模式本征方程得到薄膜介电常数,由此可算出薄膜的厚度.这种检测方法操作简单,薄膜厚度检测限理论上能达到1nm.
超薄膜 厚度检测 单面金属包覆波导法 共振角度 介电常数
杜瑞 袁文 桑明煌 戴海浪
江西师范大学物理与通信电子学院 南昌330022
国内会议
第九届全国光子学学术会议暨中国光学学会纤维光学与集成光学专委会成立30周年大会
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2014-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）