乐甫波的液体粘度传感研究

摘要：

利用部分波理论和边界条件精确推导,对“粘性液体/非压电薄膜/压电基底”3层乐甫波结构建模,分析得出随叉指周期变小,液体粘度灵敏度提高,传播衰减增大;随“薄膜厚度与波长之比”增大,液体的粘度灵敏度随之先减小再增大,液体密度灵敏度几乎为零.优化设计了以36°钽酸锂和SiO2为基底和薄膜的乐甫波器件,制作并测试实物,实验结果与数值仿真基本一致,表明了理论模型的正确性.

关键词： 乐甫波器件 液体粘度 优化设计 薄膜厚度 叉指周期

作者: 王萌阳 陈智军 蒋玲 刘敬勇 童锐

作者单位: 南京航空航天大学自动化学院,江苏南京210016 南京航空航天大学自动化学院,江苏南京210016;南京大学近代声学教育部重点实验室,江苏南京210093 中国电子科技集团第五十五研究所,江苏南京210008

会议类型: 国内会议

会议名称: 2014年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 青海

会议语种:中文

页码: 295-298

在线出版日期: 2014-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）