近红外InGaAs探测器的串音特性研究

摘要：

高密度焦平面探测器的串音特性在光电仪器应用中备受关注,本文研究了近红外InGaAs探测器的串音特性.设计了中心距为30μm的32×32元面阵器件,采用激光束诱导电流技术(LBIC)研究了光敏区载流子的横向扩散及填充因子,结果表明通过优化相邻光敏元扩散隔离区的间距,在室温下器件填充因子可以达到98％,且相邻光敏元之间响应存在明显极小值;在器件结构设计及测试结果的基础上,研制了800×2元InGaAs焦平面探测器,其光电性能良好,串音效果有所改善,该组件应用于光电成像仪器,推算其MTF约为0.50,成像图片清晰.

关键词： 焦平面探测器 制造工艺 串音特性 光电性能 铟镓砷材料

作者: 李雪 唐恒敬 邓洪海 李建伟 邵秀梅 李淘 危峻 龚海梅

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200083;中国科学院上海技术物理研究所,中科院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083 南通大学,电子信息学院,南通,226019 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市红外与遥感学会第十九届年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1-8

在线出版日期: 2014-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）