一种硅微谐振式加速度计力学敏感结构设计

摘要：

针对硅微谐振式加速度计的高灵敏度输出设计,对作为传感器敏感元件的双端固支音叉敏感机理进行了理论分析,求取了轴向力作用下的固有频率,且考虑硅微机构的制作工艺,设计了加速度计谐振音叉模型,并利用有限元分析方法,对设计的理想谐振器与考虑制作的实际谐振器进行了建模仿真。结果表明,两者的工作模态频率存在明显偏差,约为5.553kHz。在此基础上，进行了加速度计模型设计与模态仿真及其随机振动分析,实现了约为147.7Hz/g的标度因数。

关键词： 谐振式微加速度计 敏感元件 双端固支音叉 有限元仿真 设计优化

作者: 温悦 李成 樊尚春

作者单位: 北京航空航天大学”新型惯性仪表与导航系统技术”国防重点学科实验室,北京100191;北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院,北京100191

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 127-130

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）