一种基于缝槽结构的谐振梁应力集中效应研究
为了改善拾振电阻获得有用信号非常微弱这一问题,研究了缝槽结构在谐振梁上的应力集中效应,并与硅微机械谐振式压力传感器中的双端固支谐振梁设计理论相结合,提出了一种新型的缝槽-谐振梁结构.缝槽产生的应力集中效应放大了谐振梁振动时根部表面产生的交变应力.拾振电阻敏感此交变应力,交变电阻值得到放大.缝形槽结构的引入从前端结构上放大了有用法信号,提高了信号的信噪比.通过有限元方法对孔缝—谐振梁结构进行了静力学仿真分析,并计算了应力集中区域应力放大倍数,同时根据欧姆鉴相法计算了信噪比提高倍数.缝槽结构应力集中效应的研究,为谐振梁进一步优化设计提供了参考.
谐振式压力传感器 缝槽结构 谐振梁 应力集中效应
史慧超 樊尚春 邢维巍 孙晋豪
国内会议
太原
中文
249-251
2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）