基于3ω法微型液体导热系数传感器研究
设计了一种基于3ω法的新型结构液体导热系数传感器,推导了加热器平均温度波动表达式,通过求解加热器温度波动的实部分量与对数频率曲线的斜率确定液体导热系数.建立二维模型在频域下的热传导方程组,通过自定义偏微分方程组求解传感器温度,并分析了支撑薄膜导热系数的影响.仿真表明,降低薄膜材料导热系数,并选取合适输入电流频率范围就可以忽略支撑薄膜影响.该传感器具有尺寸小、灵敏度高、所需被测液体体积小的优点.
液体导热系数传感器 3ω法 加热器 温度波动 薄膜材料
陈闯 陈鹏 赵立波 王鸿雁 蒋庄德 赵玉龙
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710049 陕西省计量科学研究院 西安710065
国内会议
太原
中文
275-279
2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）