一种硅微热板气体传感器应力调节系统设计与仿真

摘要：

将微热板与平行板静电执行器结合,设计出一种能够保持温度恒定的同时,调节气敏薄膜(SnO2)应力的系统结构.采用有限元软件(COMSOL Multiphysics)仿真分析了不同温度下静电执行器的吸合现象、气敏薄膜中的应力分布及其调节范围。仿真结果表明，在静电执行器作用下薄膜中有的部位应力上升，有的部位下降,成功实现对气敏薄膜中应力分布的调节，该结构可用于应力对薄膜气敏特性影响的研究。

关键词： 气体传感器 硅微热板 应力调节系统 有限元仿真

作者: 刘凯强 余隽 杨波 程春雨 唐祯安

作者单位: 大连理工大学电子信息与电气工程学部,辽宁大连116024

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 289-293

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）