基于双端固支石英音叉的压力传感器设计技术研究
分析了双端固支石英音叉的力-频特性和阻尼特性,这些特性为压力传感器设计提供了理论基础.利用力-频特性,双端固支石英音叉作为间接敏感元件检测谐振频率实现压力的测量;利用阻尼特性,双端固支石英音叉作为直接敏感元件感受被测压力,通过检测谐振阻抗测量待测压力.利用这两种机械特性,分别设计出了高精度压力传感器,全面阐述了其结构和工作原理,并完成了基于力-频特性压力传感器的制造、封装和测试,测试结果表明传感器具有良好的线性度和灵敏度,对新型高精度压力传感器的设计有较好的指导意义。
压力传感器 设计理念 力-频特性 阻尼特性 双端固支石英音叉
程荣俊 赵玉龙 李村 田边
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安710054
国内会议
太原
中文
302-305
2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）