航空用MEMS动态压力传感器研究
基于压阻效应,依据航空领域对压力传感器提出的性能要求,本文研制了一种量程为100KPa MEMS动态绝压压力传感器.对五种不同结构的压力传感器进行了仿真计算及对比分析,综合灵敏度、线性度、响应频率及制作工艺等方面的考虑，完成了双岛膜结构压力传感器参数的优化设计.设计了传感器的加工工艺流程,利用本单位现有MEMS硅微工艺加工了压力传感器芯片，采用倒装焊技术实现了传感器的无引线、高频响、高可靠性封装,并对传感器进行了静态及动态性能测试.测试结果表明研制的压力传感器满足了设计要求。
航空发动机 动态压力传感器 压阻效应 优化设计 微机电系统
王伟忠 杨拥军 何洪涛 杜少博
中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051
国内会议
太原
中文
328-332
2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）