会议专题

多孔In2 O3中空球的制备及其气敏特性研究

甲醛是一种典型的室内污染气体,利用气体传感器对其进行实时快速检测具有重要意义.本文首先采用微波水热法成功制备了多孔氧化铟(In2O3)中空球,并利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对其晶体结构和微观形貌进行了表征.结果表明,所制备的氧化铟中空球具有立方相晶体结构,其球壳由许多直径约为50nm纳米的颗粒组成.利用上述材料制作了旁热型甲醛气体传感器,并评价了该传感器的气体敏感特性.与已有的甲醛传感器相比,基于氧化铟中空球的传感器具有更低的工作温度和更高的灵敏度.

气体传感器 多孔氧化铟中空球 微波水热法 气敏特性 甲醛检测

李晓伟 孙鹏 周鑫 王琛 卢革号

吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区 长春130012

国内会议

第十三届全国敏感元件与传感器学术会议

太原

中文

340-342

2014-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)