In或Sn掺杂的ZnO空心球制备及其苯气敏特性研究

摘要：

利用葡萄糖水热法制备的碳球作为模板,通过模板牺牲法制备了摩尔比为3％的In或Sn掺杂的ZnO空心球.对样品进行了TEM和XRD表征,显示制备的样品均具备明显的空心结构,空心球直径约350nm,壳层厚30nm,由平均粒径15nm的颗粒构成.当温度从400℃℃升到450℃℃度时样品对苯的响应显著增强,掺杂In或Sn的ZnO空心球样品比未掺杂的样品对苯气体表现出更高的响应.此外,In掺杂提高了样品的电导率,降低了对测试电路的要求,有利于实际应用.

关键词： 氧化锌空心球 模板牺牲法 气敏特性 铟掺杂 锡掺杂 苯检测

作者: 吴昊 余隽 朱慧超 杨波 唐祯安

作者单位: 大连理工大学电子科学与技术学院 大连116024

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 394-397

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）