飞秒激光湿法刻蚀技术制备石英内部真三维微线圈及微传感器的研究
微传感器是一个重要的功能元件,它被广泛的应用于电子电路、制动装置和MEMS系统等.利用飞秒激光微加工技术在透明介质内部制备均匀性、性能良好,能够满足实际应用要求的真三维微传感器件,是微加工领域的研究热点.论文主要研究了利用飞秒激光在石英材料内部制备三维微通道方法与金属微固化工艺相结合,通过优化的三维微通道飞秒激光湿法刻蚀方法,在石英材料内部直接制备三维螺旋微传感器.这些三维螺旋微传感器有着复杂且具有功能性的结构,同时具有良好的均匀性级性能,对更多微线圈器件及微电子电路系统的制备有着重要的意义。
微传感器 真三维微线圈 石英材料 飞秒激光湿法刻蚀技术
山超 杨青 陈烽 孟祥卫 柳克银 李彦阳
陕西省信息光子技术重点实验室 西安交通大学电子与信息工程学院
国内会议
太原
中文
515-518
2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）