一种基于MEMS技术的新型空中电场传感器

摘要：

本文研制出一种基于MEMS技术的新型空中电场传感器,解决了现有机电式电场传感器易损坏、功耗高、环境适应性差等问题,可在各种天气下对地面至30km之间的空中电场进行精确测量.测量范围为-100kV/m～100kV/m,分辨力小于50V/m,总不确定度小于3％,功耗约0.6W,质量小于100g,探头尺寸为Φ26mm×22mm.采用探头式结构设计,有效避免了气球、信号处理电路静电荷积累的影响.敏感方向向下,可避免降水等因素造成电场屏蔽.采用ARM处理器对敏感芯片进行数字解调,响应快、可靠性高.

关键词： 空中电场传感器 结构设计 微机电系统

作者: 闻小龙 杨鹏飞 彭春荣 方东明 夏善红

作者单位: 中国科学院电子学研究所 北京100190;中国科学院大学 北京100049 北京大学微电子学研究院 北京100871 中国科学院电子学研究所 北京100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 540-543

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）