紫外激光微加工玻璃微通道工艺技术
本文基于紫外激光微加工技术,从玻璃材料的特点与激光精密加工的优点出发,用紫外激光器(A=355rim)在玻璃基体上加工MOX传感器微通道.文章对这种方法进行了初步探索,分析了不同频率下的激光光束对玻璃表面、盲槽底部、振镜接纹处和槽深宽的影响.紫外激光在精细加工领域具有独特的优势，应用前景广阔。激光加工玻璃的过程，需要从热学效应和光化学效应以及力学效应等方面进行考虑。本文在实验的基础上对比了不同激光脉冲频率对玻璃表面、盲槽底面、振镜拼接处以及槽深宽的影响。激光加工工艺参数较多，不同参数间的匹配会对加工质量产生较大影响，所以后续针对玻璃以及其他材料的加工，需要进行大量的实验，优化各加工参数。
玻璃加工 紫外激光微加工技术 金属氧化物气体传感器 工艺参数
马天军 孙建海 谢波 刘濮鲲
中国科学院电子学研究所 北京100190 北京大学 北京100871
国内会议
太原
中文
557-560
2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）