一种实用型光纤Fabry-Perot压力/液位传感器

摘要：

理论分析并实验研究了一种低成本、高精度的Fabry-Perot(F-P)干涉型光纤压力/液位传感器.分别采用200μm厚的镀金硅片、5μm厚的奥氏体不锈钢薄膜(0Cr18 Ni9)作为压力敏感膜,与光纤毛细管、光纤端面构成F-P腔,尺寸约为Φ2mm×7mm.理论计算了在均布载荷情况下,两种不同压力敏感膜的形变大小与分布.基于波长解调,实现了0～1MPa范围内的压力测量.线性相关系数达到0.9999,最佳分辨力和灵敏度分别达到0.07kPa和14.1pm/kPa,测量不确定度≤0.3％.采用标准工业压力管接头封装,在0～1MPa范围内气密性好。

关键词： 光纤压力传感器 光纤液位传感器 测量分辨力 灵敏度

作者: 邓元龙 李东腾 赵小丽 洪学明 李学金

作者单位: 深圳大学机电与控制工程学院;深圳市传感器技术重点实验室 深圳市传感器技术重点实验室;深圳市光纤传感网工程实验室,深圳518060 深圳大学机电与控制工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 822-825

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）