RF MEMS直接接触式开关寿命测试系统的设计

本文设计了以ADuC841单片机为核心的RF MEMS直接接触式开关寿命测试系统.本测试系统软件采用模块化设计方法,每一功能模块对应完成不同功能的硬件电路。整个程序包括主程序、数据采集程序、数据处理程序、串口通讯程序、定时器中断程序、外部中断处理程序、PWM脉冲方波程序,所有程序采用C语言编写。 本系统使具有高稳定性的恒流源电路产生恒定直流通过RF MEMS开关,在开关两端产生电压差从而计算得到开关直流电阻值,根据开关的直流电阻值判断RF MEMS开关是否失效,从而达到测试开关寿命的目的.本系统对于4Ω以下RF MEMS直接接触式单刀单掷开关电阻测量精度优于1%,同时能满足寿命约为109次的RF MEMS直接接触式开关测试,测试结束后导出的RF MEMS开关电阻测试数据对开关可靠性分析起到了很好的辅助作用.
射频微机电系统 直接接触式开关 寿命测试系统 软件设计 功能模块
邓迪 鲍景富 汪帆
电子科技大学 电子工程学院 四川成都 611731
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2014-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)