MEMS方块谐振器设计与仿真

本文设计了一种10MHz带有可动电极结构的RF MEMS方块谐振器.首先根据机械类比的方法,给出了谐振器的机械参数模型,然后建立了谐振器的等效电路.最后利用ANSYS有限元仿真分析软件验证了谐振器的预期工作模态,利用ADS仿真分析了谐振器的电气性能.从仿真结果来看,本设计使谐振器的动态电阻降为1.5kΩ,插入损耗仅为23.975dB.在施加偏置电压后移动电极与振动块间隙减小至0.5μm,在一定程度上缓解了微加工工艺中制造微小间隙的难度.
方块谐振器 结构设计 等效电路 电气性能
王秋苹 鲍景富 李昕熠
电子科技大学电工学院 成都 611731
国内会议
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2014-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)