一种并联欧姆接触式MEMS开关的设计与仿真
近年来,射频微机电系统(RF MEMS)技术在现代通信领域中越来越受到重视.与传统的半导体开关相比,由于RF MEMS开关具有高隔离度、低插损和低功耗等优点,在未来的通信系统中有着极大的应用潜力.本文设计了一种并联欧姆接触式MEMS开关,开关梁采用金-氮化硅-金的固支梁设计,减小了残余应力的影响,双制动电极的设计降低了开关的制动电压,并利用HFSS和ANSYS软件对开关的电磁性能和机械性能进行了仿真.仿真结果表明,这种开关在DC～40GHz带宽内的up态插入损耗优于-0.18dB,down态隔离度优于-27dB.
开关设备 结构设计 插入损耗 隔离度 电磁性能 机械性能
谭伟 鲍景富 李昕熠
电子科技大学电子工程学院 成都 611731
国内会议
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2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）