基于二阶面切变模态方块微机械谐振器的10MHz低相噪振荡器设计

摘要：

本文设计了一个基于MEMS谐振器的10MHz低相噪振荡器.采用了二阶面切变模态方块谐振器.通过精确设计支撑梁的位置来最小化锚点损耗,所提出的谐振器实现了非常高的品质因数(对于T型支撑梁超过了700000).与先前更大体积的基模谐振器在相同频率下相比,二阶模态有很多的优越性,例如(1)更高的Q值;(2)更小的动态电阻RX(在间隙为0.25μm时达到了82.1Ω).所以,基于这种新谐振器设计出的振荡器表现出更低的相位噪声,达到了-156dBc/Hz@1kHz.

关键词： 低相噪振荡器 结构设计 相位噪声 微电子机械系统 方块谐振器

作者: 潘明争 Tan-Loc Nguyen 鲍景富

作者单位: 电子科技大学 四川省成都市高新西区西源大道2006号 611731

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会电路与系统学会第二十五届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2014-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）